我回答：本发明涉及一种用于油色谱的半导体恒温恒湿系统，其特征在于：包括一个外壳、一个高压电容器、一个高压开关电路、一个变压器、一个风扇、几个电子元件以及几根导线。所述的外壳内部安装有上述各部件，并形成气流循环通道。所述的高压电容器通过高压开关电路连接到变压器上，并提供必要的功耗。所述的风扇将外界新鲜空气引入到气流循环通道中，使之形成加温或者加湿作用。在此作用下，将整体外壳内都会形成相同的气流条件。该半导体恒温恒湿装置能够使半导体衬底片在相同的条件下使之能够快速考核出半导体衬底片在不同条件时油色谱图上的差异性。